製品情報
EBM-8000
電子ビームマスク描画装置
世界トップクラスのシェアを独走!
精度No1の描画装置
 
NPI-7000
マスク検査装置
最先端デバイスhp20nm世代の扉を開く技術を結集した最先端マスク検査装置
 
HT/EGV Series
エピタキシャル成長装置
世界のトップ2を追随!
半導体の低消費電力、高速化を実現

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