エピタキシャル成長装置

HT2000FD 200㎜枚葉式Siエピタキシャル成長装置

枚葉式Siエピタキシャル成長装置

HT2000FD

車載向けなどパワー半導体のニーズに応えるため、高品質エピを高速成長させる200mm対応の最先端Siエピタキシャル成長装置です。

EPIREVO S6 150㎜枚葉式SiCエピタキシャル成長装置

枚葉式SiCエピタキシャル成長装置

EPIREVO S6

高耐圧・低損失の次世代のパワー半導体として注目されるSiC(炭化ケイ素)半導体の低コスト化・高品質化に貢献する100mm/150㎜SiCウェハ対応のエピタキシャル成長装置です。

EPIREVO G8 200㎜枚葉式GaN-on-Si MOCVD装置

枚葉式GaN-on-SiMOCVD装置

EPIREVO G8

LED(発光ダイオード)や次世代パワー半導体材料として注目されるGaN(窒化ガリウム)をSi基板上に成長させる150mm/200㎜Siウェハ対応のMOCVD装置です。

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