マスク検査装置 NPI-7000

高生産性最先端マスク検査装置

マスク検査装置 NPI-7000

最先端デバイスhp20nm以降世代の扉を開く技術を結集した最先端マスク検査装置

特長

  • 1) 最先端短波長199nmレーザーを搭載
  • 2) 透過反射同時検査85分以内の高速検査を実現
  • 3) 実用感度を高める機能等の先端アプリケーションを搭載

仕様

マスクサイズ 6inch
光源波長 199nm
スループット 85minutes
ページの上部へ