描画装置技術部 データ制御技術グループ
自然科学系教育部 理学博士
小山 真理子
正確な描画を制御するシステムの開発
私が所属している部署では、電子ビームマスク描画装置を動かすために必要なデータの作成と転送、そして描画制御を担当しています。その中で、マルチビームマスク描画装置の描画パラメータの管理が私の仕事です。実際の仕事は、自席でPCに向かっていることが多いですね。管理用プログラムを作成するほか、描画パラメータの仕様書を作ることもあります。
描画の際には、まずデジタル化された原板の回路図の情報がシステムへ入力されます。それをもとに装置は描画を行うのですが、正確な描画には様々なパラメータによる調節が必要となります。私はこのパラメータをデータベースへ登録したり、出力したりするプログラムを書いています。使いやすい管理ツールと、信頼できるパラメータ仕様書があることが、描画精度を上げるんです。
どんなことでも相談できる専門家集団の組織
ニューフレアテクノロジーを選んだのは、目に見えるものづくりがしたいと思ったからです。また、半導体業界を支える会社の一員として、社会貢献したいという想いもありました。
入社して感じたのは、想像していた以上に専門家集団だったということです。仕事でぶつかるどんな技術的課題であっても、社内のどこかに相談できるエキスパートがいるのはとても心強いですね。仕様書を書く際には、部署の垣根を越えていろいろな人に相談しながら進めています。
技術者からのフィードバックがモチベーションに
いま私が取り組んでいる課題は、これまでのシングルビームと変わらない使い心地のシステムをマルチビームマスク描画装置に実装することです。私が担当しているシステムは、現在は社内の技術者が主に使用しています。「うまくいった」という声には大きな達成感を感じています。システムを使う社内の技術者からのフィードバックが、自分にとって大きなモチベーションとなっています。
