描画装置技術部　ビーム制御技術グループ

主任　工学博士
宮本 房雄

高輝度化と長寿命化、相反するテーマに挑むカソード開発

私は電子線描画装置の内部で電子ビームを発射する、電子銃（カソード）の開発を行っています。
より高精度なマスクをより効率的に描画するために電子銃に求められるのは，高い輝度と長い寿命です．電子銃の高輝度化と長寿命化は相反するものなので、両方を同時に満たすことは大きな課題です。

ニッチな分野は新しいチャレンジに満ちている

現在、6人チームのリーダーを担当し、顧客や外部のメーカーとのやりとりの中で、新しい技術のための実験を重ねています。開発の現場ではチームメンバーと一緒に試作品のテストチャンバーで実際に電子ビームを出し、その結果を見ながら改善につなげていく、ということを重ねています。
電子源としてのカソードは以前は盛んに研究されていましたが，現在では、専門家が少ないニッチな分野です。しかしながら，産業への応用という観点では，材料や電極構造など，まだまだ改良する余地が大きく，それが市場から求められています．日々仕事をしていて感じるのは、カソードはなかなか計算通りに動いてくれないということ。だからこそやるべきことがなくならず、常に新しいチャレンジができる。そこにおもしろさを感じています。

大学の研究と仕事は別物。
質問する力が技術者を成長させる

2004年に入社してからずっと電子銃やカソードの開発を担当しています。これまでを振り返ると、EBM-3000以降のすべての製品に携わってきたことになりますね。大学では電気電子工学を専攻し、博士号を取得した後はポストドクターとしてカソード表面の分析を研究していました。学生時代に学んだことを活かし、実用化につなげているのが今の仕事といえます。
入社当時を振り返ると、大学で学んだことと実際の仕事は同じ分野とはいえ予想以上に別物でした。私もそうでしたが入社したばかりの学生にとって、仕事の現場はわからないことの連続だと思います。これから入社するみなさんには、堅苦しいプライドは捨てて、恥ずかしがらずにどんどん質問することで、いろいろなことを吸収していってほしいですね。それが技術者としての成長につながっていきます。