描画装置技術部　システム制御技術グループ

参事
中山 貴仁

ビームの補正は1nm以下測定精度から

私は電子ビームマスク描画装置の中で、鏡筒（コラム）の中を通る電子ビームの補正を担当しています。コラムの中が帯電することで、ビームが動いてしまうことをチャージアップドリフトといいます。この帯電を制御し、ビームのずれを補正するコラムの設計・開発が私の仕事です。
電子ビームの補正には、ビーム位置の正確な測定が欠かせません。正確な位置がわかってこそ、初めて適切な補正が可能になります。現在携わっているEBM-9500PLUSでは、1nm以下の測定精度が求められます。測定精度を上げることで、ビームのずれを改善できる箇所を探すと同時に、最初からコラム自体を補正しやすい構造にしておくなど、様々な工夫を盛り込みながら試行錯誤を行っています。

技術部とST、二つの視点

入社当初は技術部に配属、その後技術移管で、3年ほどサービステクノロジーグループ（ST）に所属となりました。STは納入先で装置を立ち上げる部署ですが、技術移管の一環として、自分が開発したコラムの不具合や機能改善にも対応していました。納入先での装置の不具合はマスクのロスを引き起こし、顧客のビジネスに大きな悪影響を及ぼします。そのためいち早く異常を見つけ、安定稼働を可能にする診断機能の開発にも携わりました。
再び技術部に戻ったいま、STでの経験が大きく役立っているのを感じています。あらゆる可能性を考慮してリスクを最小に抑える設計にしたつもりでも、装置の運用方針や装置設置環境、作業者の個性、部品の特性等によって、予期せぬ現象が生じることがあるんです。装置の立ち上げを通して、問題を発見したときにそれをほかのグループに共有し、連携して問題を解決する力も磨かれたように思います。

顧客が本当にほしいものを広い視野で考えられる力

いま電子ビームマスク描画装置の技術者として大切にしていることは、精度と安定稼働の両立ですね。いくら装置の性能がよくても、納入先での稼働率が50％では意味がありません。顧客はチャンピオンデータよりも、平均データの安定を求めることが多いんです。
技術部では自分の担当に集中しますが、STは顧客の視点で装置全体をみます。STでは自分の専門である電子光学だけでなく、装置を構成する各機能の知識も必要になります。STと技術、2つの視点を経験したからこそ、いま顧客が本当にほしいものはなんなのかを、広い視野で考える力が身に着いたと思います。