TFW装置技術部 研究開発グループ
理工学研究科
津久井 雅之
性能を見極めるプロセス条件を探る
原料となるガスを使って基板上に単結晶半導体の膜を作る、エピタキシャル成長装置に携わっています。ニューフレアテクノロジーで扱っているエピタキシャル成長装置はSiCやGaN、Siといった半導体結晶を基板上に成膜しますが、私の担当製品はGaN系半導体を成膜するEPIREVO G8です。GaN系半導体の応用先としては、発光ダイオード（LED）や次世代パワーデバイスが知られています。
主な業務は装置の性能を評価する、プロセス開発担当です。装置開発には機械、電気、ソフトウェアといった様々な側面がありますが、プロセス開発の業務は社内にある実際にできあがった装置で成膜実験をして、課題が見つかれば担当技術者にフィードバックし、装置の改善につなげます。
決まった実験をするのではなく、実験と測定を繰り返して装置の性能を発揮できる条件を探すことが多いですね。高品質な結晶膜を生産性よく製造するために、様々な条件でどこまで性能を出せるのかを見極めます。
装置の立ち上げや性能のPRも大切な仕事のひとつ
実際にお客様の工場に出荷した装置のプロセス立ち上げも行います。社内機で確認した性能を出荷装置でも出せることを実証する業務です。つい先日、台湾に出荷したEPIREVO G8の立ち上げを担当しました。初めての立ち上げ業務だったこともあり不安もありましたが、約ひと月の滞在で予定通り検収を終えることができてほっとしています。今後お客様に装置が評価され、リピートにつながればと期待しています。
装置PRやお客様へのデモ対応も大切な仕事のひとつです。学会や国際会議に出席し、社内機で得られた実験結果を発表しています。またお客様の希望する膜構造を社内機で成長させた基板や評価データを提供し、装置性能を評価していただいています。
新しい分野への挑戦を一緒に楽しんでほしい
仕事の醍醐味は、なんといっても市場に出る前の装置に携われることですね。様々な条件や膜構造での実験をしている中で、装置の新たなアピールポイントを発見できるおもしろさがあります。装置メーカーとして、デバイスメーカーや基板メーカーの技術者にバトンタッチする前の世界に取り組めるのは、技術者として大きな魅力を感じます。
省エネを実現するSiCやGaNのパワーデバイスが世の中に普及しつつあるので、私達の装置にも期待が寄せられています。これから入社する学生さんたちには、その期待に応えられる装置開発にぜひ一緒に挑戦してほしいと思っています。
