业务内容

本公司以电子束掩膜光刻设备、外延生长设备、掩膜检测设备的3个产品为中心，主营业务包括半导体制造设备的开发、制造、销售｡

电子束掩膜光刻设备将电子束光刻控制的核心技术通过整合精密机械控制、大规模数据处理、激光检测技术等高度专业化的各种关键技术，用于在LSI（大规模集成电路）制造工艺中光刻与制作电路原版（光掩膜版）的设备｡

外延生长设备是将气体控制技术作为核心，在硅晶片上生长单晶硅的设备｡

掩膜检测设备能高速检测由电子束掩膜光刻设备光刻与制作的电路原版（光掩膜版），为不断提高微细化的LSI成品率做出贡献｡