掩模检查设备

掩膜检测设备 NPI-8000 和 NPI-8000V 是一种可以高精度检测最先进光掩膜检测设备

• 1) 搭载有最尖端短波长199nm激光
• 2) 实现60分钟以内的高速检测
• 3) 搭载有提高实用灵敏度功能等的最新应用软件

掩模检测设备是对用电子束掩模光刻设备光刻和制造的电路原版（光掩模）进行高速检测的设备。
本公司密切关注对EUV光刻和纳米压印技术的支持等光刻技术的未来趋势，同时还在为5nm系列及更高级的设备开发掩膜检测设备。